上海添时CVD气相沉积

CVD气相沉积-上海添时科学仪器有限公司

1700℃二通道混气真空CVD系统介绍：GSL-1700X-HVC是一款CE认证的二通道高真空CVD系统，它是由二路质子混气系统和高真空机组组成，其最高工作温度可达1600℃，极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气，然后导入到管式炉内部。

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1700℃二通道混气真空CVD系统介绍：

型号：GSL-1700X-HVC  

壳体：

?内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

?保温材料采用高纯氧化铝纤维，环保节能，减少热量的损失

?真空泵和气体混合系统位于移动架上，方便移动.

?仪器上已经安装高真空法兰，阀门，高真空机组

炉管:

?材质：高纯氧化铝陶瓷管

?一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上

?(标配尺寸)(60mm)0.D.xI.D.(50mm)x1000mm

(选配尺寸)"(80mm)0.D.xI.D.(70mm)x1000mm

功率:

6KW

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