上海添时PECVD等离子体增强气相沉积

PECVD等离子体增强气相沉积-上海添时科学仪器有限公司

1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统产品特点：

?射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度；

?齿轮驱动管式炉旋转可有效地提高复合粉末热处理的均匀性;

?4通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控;

?炉体开启式设计，以达到对样品快速降温，方便更换炉管。

1200℃等离子增强小型PECVD回转炉系统参数：

工作电源：

?输入电压：AC208-220V，50/60Hz

?总功率：<4KW

加热炉参数：

?最高温度：1100℃（<30min）；连续工作温度：1000℃;

?两个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃;

?工作电压：110V；

?额定功率：1.5KW；

?回转炉旋转速度：0-5rpm。

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